退火炉是在半导体器件制造中使用的一种工艺，其包括加热多个半导体晶片以影响其电性能。下面东台市意为龙窑炉设备有限公司带大家了解一下退火炉的分类方式。

　　退火炉的分类方式：

　　1. 退火炉由不同的加热方式分为电加热、燃油加热、燃气加热三种不同类型。分别是电加热退火炉、燃油退火炉、燃气退火炉。

　　3. 退火炉不同炉体结构分为，如台车式退火炉、井式退火炉、箱式退火炉、罩式退火炉。

　　4. 退火炉还可以分为真空退火炉、控制气氛退火炉和在自然气氛中加热的退火炉。

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